浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室是西湖大学首批获准成立的重点实验室之一。重点实验室依托西湖大学工学院先进微纳加工与测试平台以及校内与微纳技术相关的课题组和实验室共同建立。现有科研用房全部集中在西湖大学云栖校区2号楼，共计约3000平米，现有大型仪器设备总价值超过6000万元。

研究内容和方向：重点实验室结合微电子集成技术和微纳加工的未来发展方向，在利用现有平面加工工艺研制微纳结构和器件的同时，重点研究和开发3D微纳米加工与表征技术，并通过这些技术在相关学科研究应用中探索学科交叉领域，开拓新的应用和研究方向。

发展方向：重点实验室围绕3D微纳加工和表征技术，开展基础性和前沿科学技术研究，注重学科交叉融合，致力于培养复合型拔尖创新人才，并加强与国内同行的技术交流、竭诚合作，努力和国内同行携手提升我国微纳加工技术的国际影响力，夯实西湖大学“高起点、小而精、研究型”的办学定位。重点实验室同等重视和相关企业合作，实现产学研结合，通过开发和应用微纳加工新工艺、新装备和实现这些工艺、装备的产业化，为杭州在未来智慧城市产业中的芯片、先进传感器和物联网技术等领域奠定硬件基础，为地方技术创新和经济发展做出重要贡献。

人员构成：重点实验室学术委员会由7名中国科学院院士和中国工程院院士、1名加拿大工程院院士和7名国内外知名专家学者组成，其中，学术委员会主任由中科院院士郝跃教授担任，学术委员会副主任由中科院院士刘明研究员和中科院成都光电所罗先刚研究员共同担任。重点实验室主任由仇旻教授担任，副主任由李西军研究员、周南嘉研究员和张紫阳研究员共同担任。重点实验室现有专职工作人员52名，其中60%以上拥有博士学位人员，3名担任西湖大学讲席教授，3名当选OSA、SPIE、IEEE Fellow。